日前，紹興芯鏈半導體科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“紹興芯鏈”）在柯橋舉行發(fā)布會(huì )，正式宣告國內首片國產(chǎn)光罩保護膜誕生，實(shí)現國產(chǎn)光罩保護膜產(chǎn)品“零”的突破。這對于中國半導體光罩領(lǐng)域來(lái)說(shuō)具有深遠意義，是整合半導體光罩材料產(chǎn)業(yè)鏈的重大突破。

紹興芯鏈位于杭紹臨空經(jīng)濟一體化發(fā)展示范區紹興片區內，主要從事光罩材料產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售。令人振奮的是，該項目于2023年5月29日土地摘牌，1個(gè)月開(kāi)工建設，10個(gè)月完成結頂，12個(gè)月試運行，成為“柯橋速度”的又一樣板。

記者了解到，此前，光罩保護膜一直都是“卡脖子”技術(shù)難題：配方方面，國內尚無(wú)廠(chǎng)商生產(chǎn)，完全依賴(lài)進(jìn)口；工藝方面，旋涂、烘干等技術(shù)復雜，厚度、透光率等要求嚴苛。而紹興芯鏈致力于整合光罩材料全產(chǎn)業(yè)鏈，是目前全國唯一能生產(chǎn)光罩保護膜、BIM及PSM光罩基板的廠(chǎng)家。

“從研發(fā)到試生產(chǎn)，再到產(chǎn)品的最終呈現，每個(gè)環(huán)節都凝聚了芯鏈每位同仁無(wú)盡的心血?！苯B興芯鏈總經(jīng)理李佳珍看到團隊的努力終于“結果”感慨萬(wàn)千。她說(shuō)，未來(lái)公司將繼續跟隨國家半導體行業(yè)發(fā)展戰略，圍繞高端半導體材料提供更高質(zhì)量的產(chǎn)品，持續加大研發(fā)投入，逐步實(shí)現先進(jìn)光罩上游材料的量產(chǎn)，成為國內領(lǐng)先、國際一流的半導體材料標桿企業(yè)。